Nové IJD depoziční systémy – řada Lab Jet

Představujeme naši novou řadu depozičních komor Lab Jet 2023, od výzkumu po malovýrobu.

Lab Jet 4.0 je nejmenší — pojme jeden IJD zdroj a jeden doplňkový zdroj (naprašování, napařování atd.); plně vybavený systém pro výzkum a vývoj procesů, s volbami jako vyhřívaný rotační držák vzorků, víceterčový držák a load lock.

Lab Jet 6.0 je určen pro vícemateriálové procesy, pracuje až se 3 IJD zdroji při ko-depozici. Lab Jet 8.0 je největší komora, navržená pro karusel, jednotku 5× IJD zdroj a další konvenční zdroje — ideální pilotní systém pro testování škálování.